主要服务学科领域

力学、材料科学、地球科学、电子信息、资源与环境

主要仪器设备功能

无损化监测粗糙度及微观形貌、纳米级分辨率、兼容各种2D及3D标准。

搭载了“全自动设定功能”，完成自动对焦、自动设定测量区域、自动进行测量设定等工作，以消除直接导致测量失败的人为设定失误。从产品整体的形状测量乃至粗糙度测量，无论是大范围还是细微部位，均可由1台设备完成测量，仪器的测量范围是以往的5倍。

可以开展以下测试工作：测量表面形状并创建3D图像、自动拼接多个图像、轮廓测量、平面点高度测量、面平面度测量、体积面积测量、线条粗糙度测量、表面粗糙度测量、3D-CAD比较测量。

主要服务项目内容

样品测试、分析检测

主要性能参数指标

1）主机X轴行程：184mm

2）主机部分Z轴测量范围：240mm

3）主机X及Z轴定位分辨率：0.1um

4）VR-5000垂直测量范围：0-300um

5）VR-5000工作距离：11mm